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MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí),傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高,傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
0371-60932951室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè)、手機(jī)、電腦等消費(fèi)類電子產(chǎn)品應(yīng)用檢測(cè)空氣質(zhì)量、呼出氣體檢測(cè)儀、室內(nèi)煙霧報(bào)警等
產(chǎn)品型號(hào) | GM-502B | ||
產(chǎn)品類型 | MEMS VOC氣體傳感器 | ||
標(biāo)準(zhǔn)封裝 | 陶瓷封裝 | ||
檢測(cè)氣體 | 乙醇、甲醛、甲苯等 | ||
檢測(cè)濃度 | 1ppm~500ppm | ||
標(biāo)準(zhǔn)電路條件 | 回路電壓 | Vc | ≤24V DC |
加熱電壓 | VH | 2.5V±0.1V AC or DC | |
負(fù)載電阻 | RL | 可調(diào) | |
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下 氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω(室溫) |
加熱功耗 | PH | ≤50mW | |
敏感體表面電阻 | Rs | 1KΩ~30KΩ(in 50ppm乙醇) | |
靈敏度 | S | R0(in air)/Rs(in 50ppm乙醇)≥3.0 | |
濃度斜率 | α | ≤0.9(R200ppm/R50ppm乙醇) | |
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃;55%RH±5%RH | |
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路 | VH:2.5V±0.1V; Vc:5.0V±0.1V |
注:產(chǎn)品參數(shù)如有變動(dòng),恕不另行通知
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